เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของมวลฮีเลียมเป็นเครื่องตรวจจับการรั่วไหลแบบพิเศษสำหรับการระบุตำแหน่ง การตรวจจับเชิงปริมาณและเชิงคุณภาพของช่องว่างการรั่วไหลขนาดเล็กในอุปกรณ์สูญญากาศและอุปกรณ์ปิดผนึก เครื่องตรวจจับนี้มีคุณลักษณะของประสิทธิภาพที่เสถียร ความไวสูง การทำงานที่เรียบง่าย การทำงานที่สะดวก และการตรวจจับที่รวดเร็ว เครื่องตรวจจับการรั่วไหลนี้มีความไวสูง และใช้กันอย่างแพร่หลายในเทคโนโลยีการตรวจจับการรั่วไหลของสูญญากาศ
เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของฮีเลียมใช้ประโยชน์จากคุณสมบัติการแพร่ของโมเลกุลฮีเลียมในสุญญากาศ โดยการใส่ฮีเลียมเข้าไปในวัตถุหรือพื้นที่ที่กำลังทดสอบ จะใช้เครื่องสเปกโตรมิเตอร์มวลฮีเลียมเพื่อตรวจจับการมีอยู่ของฮีเลียมในสภาพแวดล้อมโดยรอบ หากตรวจพบฮีเลียม แสดงว่าวัตถุที่ทดสอบมีรอยรั่วหรือรอยแตก เนื่องจากโมเลกุลฮีเลียมมีขนาดเล็ก จึงสามารถผ่านได้แม้ในรูหรือรอยแตกที่เล็กที่สุด ทำให้เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของฮีเลียมสามารถระบุรอยรั่วที่เล็กมากได้ นอกจากนี้ ฮีเลียมยังเป็นก๊าซที่เสถียร ไม่ทำปฏิกิริยากับสารอื่นหรือส่งผลกระทบต่อวัตถุที่กำลังตรวจสอบ กล่าวโดยสรุป เครื่องตรวจจับการรั่วไหลของฮีเลียมเป็นอุปกรณ์ที่มีความไวสูงสำหรับการตรวจจับการรั่วไหลของก๊าซ โดยทำงานโดยอาศัยเทคนิคแมสสเปกโตรมิเตอร์และคุณสมบัติเฉพาะของฮีเลียม
